| 质谱仪 |
| JP2019570192 2018-2-7 发明申请 |
| 2020-11-19 |
| 根据本发明的用于分离电极棒的离子质量-电荷比的4(50a-50d), 杆保持架(51)由陶瓷保持架2构成,杆保持架(51)的壳体(1)的底面上设置有由金属制成的真空保持座保持架(52)。 (1)在真空壳体的壁中,(4)入口透镜,和具有出口(5)的透镜(6)被加工成面对四极质量过滤器单元部分的涂层(10)由黑色镀镍形成。 (10)与之相比,高发射率的涂层是Al,(5)(10)涂层从被吸收的四极质量过滤器单元有效地辐射。 因此,由杆保持器(51)产生的热被有效地扩散到介电损耗中,可以减小变形。 因此,杆电极(50a-50d)之间的距离变化减小了变形,质量精度高,能够实现质量分辨率。 |