| 用于监视显微镜的焦点状态的装置 |
| US16881260 2020-5-22 发明申请 |
| 2020-11-26 |
| 提供了一种用于监视具有物平面和主成像区域的显微镜的焦点状态的装置。该装置具有提供辅助光束的辅助光源,并且以如下方式将辅助光束耦合到显微镜中: 光束在一个平面内传播,该平面由一条在物平面内传播的直线和一条垂直于物平面的直线横跨在主成像区域之外, 并且所述耦合的辅助光束相对于所述物平面的法线倾斜一个角度。 由显微镜中的参考边界表面反射的耦合辅助光束的一部分在入射区域中照射到配准装置上。 登记装置登记入射区域在登记装置上的位置变化。 |