| 本发明涉及一种基于光机腔内光学测量的测量装置。 |
| FR18060198 2018-11-6 发明申请 |
| 2020-5-8 |
| 一种测量装置，包括：第一光源，用于以激发波长发射激发光束； 和激发光腔，在激发波长处光学谐振，并且被布置成接收激发光束； 以测量波长发射测量光束的第二光源； 以及机械元件，其安装成可绕弹性恢复位置移动和/或可弹性变形， 位于激励光腔中激励光束的光路上和测量光束的光路上，并且能够被激励光束移动和/或变形。 激励梁或测量梁中的一个能够使可移动和/或可变形的机械元件振动。 该测量装置尤其可用作气体传感器或质谱仪。 |
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