| 用于原子力显微镜的悬臂 |
| WOAT20060193 2020-5-11 发明申请 |
| 2020-11-26 |
| 本发明涉及一种用于原子力显微镜的悬臂(1)， 具有基体(2)， 它可在至少一个频率上由外部周期性力激励， 其中， 在振动状态下， 基体(2)以预定的共振频率振动， 二维振动模式，并且振动基体具有第一动态弹簧常数和梁元件(3)，梁元件(3)在基体(2)的连接点处连接到基体。 梁元件(3)的第一部分(3a)突出于基体(2)的边缘。 梁元件(3)具有从梁元件(3)突出并布置在第一部分(3a)上的测量尖端(8)。 梁元件(3)通过基体(2)的振动而运动，其中被移动的梁元件具有第二动态弹簧常数，其中以共振频率振动的基体和被移动的梁元件形成耦合的振动系统。 |
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