| 外差扫描探针显微镜方法和扫描探针显微镜系统 |
| EP19175565 2019-5-21 发明申请 |
| 2020-11-25 |
| 本发明涉及一种用于地下成像的外差扫描探针显微镜(SPM)方法，并且包括：将声学输入信号施加到样品，以及使用探针感测声学输出信号。 声输入信号包括处于唯一频率的多个信号分量，包括载波频率和至少两个激励频率。 载波频率和激励频率形成一组频率，该组频率在该组的每两个后续频率之间以相等的差频分布。 差值频率低于悬臂的灵敏度阈值频率，以便能够感测声输出信号。 该文件还描述了SPM系统。 |
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