| 芯片载体交换装置和具有该芯片载体交换装置的原子力显微镜装置 |
| KR1020190067896 2019-6-10 发明授权 |
| 2020-11-25 |
| 本发明涉及一种用于更换芯片载体的装置和包括该装置的原子力显微镜，该装置能够存储芯片载体并通过将芯片载体供应到原子力显微镜来存储芯片载体。 根据本发明的一个实施例的芯片载体更换装置从扫描探针显微镜的头部接收芯片载体，其中测量单元连接到由磁性材料制成的载体(载体)上， 并向磁头提供一个新的芯片载体。 一种永磁体，所述芯片载体切换装置为永磁体。 一种磁通耦合器，包括：能够使磁流流动的磁体； 以及磁通耦合单元，被配置为通过载体上的磁效应固定芯片载体。 驱动单元，用于通过驱动永磁体而引起载体和磁通连接部分之间的磁力变化。 本发明涉及一种用于更换芯片载体的装置和包括该装置的原子力显微镜装置。 本发明提供了一种用于制造标准产品的永磁体的方法，以通过减小在接通状态和断开状态之间转换所需的负载来降低制造成本。 |
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