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一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法

CN202010590578.2 2020-6-24 发明申请

2020-11-24

本申请公开了一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法，利用三个多普勒激光测振探头测量电子枪灯丝枪尖的振动位移，并根据振动位移测量结果，计算得到电子枪灯丝枪尖的实际振动位移；实际位移的计算结果能够用于削弱电子枪灯丝枪尖自身振动的影响，进而提升利用扫描电子显微镜进行集成电路检测的准确性。