| 超致密质量分析装置和超致密粒子加速装置 |
| US15329153 2015-7-29 发明申请 |
| 2017-11-16 |
| 一种质量分析器，包括主基板、粘附到主基板的上基板和下基板。 在所述主基板中形成有从所述第一主基板的上表面向所述第一主基板的下表面贯穿的质量分析室(腔)。 上基板对主基板的垂直方向(Z方向)、下基板的两侧、带电粒子的行进方向(X方向)和主基板对Z方向的直角、以及主基板的侧面对直角方向(Y至Z方向)和X方向的两侧被包围。 在主基板的侧板上开有中心孔，带电粒子进入该中心孔。 带电粒子通过形成在第一主基板中的中心孔进入质量分析室。 |
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