| 多射束扫描电子显微镜 |
| CN202010443024.X 2020-5-22 发明申请 |
| 2020-11-24 |
| 多射束扫描电子显微镜。用于检查样本的可变多射束带电粒子装置包含：多射束源，其产生多个带电粒子细束；物镜；样本固持器，其用于在所述物镜和所述多射束源之间固持所述样本；以及聚焦柱，其引导所述多个带电粒子细束使得其入射到所述样本上。所述聚焦柱引导所述多个带电射束使得存在所述多个带电粒子细束的一个或多个交叉，其中每一交叉对应于所述多个带电粒子细束通过共同位置的点。所述可变多射束带电粒子装置还包含可变孔隙，其被配置成改变所述多个带电粒子细束的电流，且位于最接近于所述样本的所述一个或多个交叉的最终交叉处。 |
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