| 一种电感耦合等离子体质谱仪的反应气体供给设备，包括氨气供给端，氦气供给端和反应气体供给设备 |
| US16587201 2019-9-30 发明申请 |
| 2020-9-17 |
| 一种电感耦合等离子体质谱仪的反应气体供给装置，包括氨气供给端，氦气供给端和反应气体供给装置， 设有氨气供给端和氦气供给端，反应气体供给装置设有调节氨气流量的氨气质量流量计和调节氦气流量的氦气质量流量计； 氨气质量流量计和氦气质量流量计通过电感耦合等离子体质谱仪规定的反应气体比例进行调节，氨气与氦气混合形成反应气体后提供给电感耦合等离子体质谱仪； 通过本发明的技术手段，可以达到保护检测仪器，降低反应气体成本等诸多优点。 |
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