| 质谱仪 |
| JP2019041598 2019-3-7 发明申请 |
| 2020-9-10 |
| [A]在质量分析器中，可以以高光学分辨率观察样品表面。 [解决方案]样品台14与表面一起设置， 具有用于离子20通过的开口的板状电极， 设置在面对样品放置表面的位置上， 设置成面对设置在样品12中的样品，样品引出电极19设置在垂直于来自离子的表面的方向上， 提取电极19由离子质量与电荷比符合规定的离子检测部23·分离， 24， 照相机38的样品表面12， 其中，当使可见光透过的描绘电极19，从试样12射出的入射光的光路到达照相机38，引出电极19的开口20以外的区域通过时。 图1[附图] |
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