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半导体温室气体减排设施减排效率测量分析自动化系统及显示工艺

KR1020190166319 2019-12-13 发明授权

2020-9-10

本发明涉及一种半导体及显示工艺排放温室气体减排设施的减排效率自动测量分析系统。本发明提供一种温室气体削减设施的削减效率的自动测定分析系统，其通过自动地进行基准的校准和测定，自动地进行基准的校准和测定。