产业集群信息网

产业专利数据

真空系统及真空泵

EP20152401 2020-1-17 检索报告

2020-9-2

真空系统(20)，特别是质谱分析系统，包括：具有可泵送区域(34)的真空泵(22)，在该可泵送区域(34)中，气体可通过有源泵送元件(36)输送；用于产生待分析颗粒束(26，32)的装置，束(26，32)被引导到可泵送区域中。