| 一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置 |
| CN201611186849.8 2016-12-20 发明申请 |
| 2018-6-26 |
| 本发明属于氢测量装置，特别涉及一种涂层中氢扩散渗透特性的精确测量装置。一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置，包括样品室，该样品室包括外真空室和内真空室，样品室与水冷机连接，水冷机用于为样品室降温，样品室的内真空室通过阀门分别与内真空室分子泵和内真空室机械泵连通，该内真空室分子泵和内真空室机械泵用于内真空室的抽真空，样品室的外真空室通过四极质谱仪分别与外真空室分子泵和外真空室机械泵连通，该外真空室分子泵和外真空室机械泵用于外真空室的抽真空，四极质谱仪还分别与工控机和离子泵连通，样品室通过标准漏孔与进气室连通。本发明的效果是：精确控制测试样品的温度，完成不同温度下的测试。 |
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