| 真空处理装置和质谱分析仪 |
| CN201580084642.7 2015-11-20 发明申请 |
| 2018-7-31 |
| 在负载锁定室与处理室之间移送对象物并且将负载锁定室和处理室分割开的动作所需要的时间被抑制得较短。真空处理装置(1)包括：处理室(3)，能够使其内部为真空状态；负载锁定室(2)，其与处理室(3)相连续地设置，能够在大气状态和真空状态之间切换；连通部(10)，其使处理室(3)与负载锁定室(2)连通；载置台(5)，其供作为处理对象的对象物载置，能够经由连通部(10)在处理室(3)与负载锁定室(2)之间移动；以及密封部(6)，其固定于载置台(5)，比连通部(10)的处理室(3)侧的开口大。 |
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