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一种调整机构
GB1422192 2014-12-12 发明申请
2016-6-15
一种磁性调节机构300包括室10,可旋转元件12包括磁部14,元件12可枢转地安装在腔室10和磁性致动器18设置在腔室外部,10允许磁耦合与磁部14的元件12上,使得运动的磁致动器18使调整位置的元件12。调整机构300可用于在真空室的质谱仪的控制位置可移动元件从腔室外部。当用于质谱仪的元件可以具有两个狭缝或小孔能通过旋转选择所述元件,从而允许不同量的离子束通过。所述旋转元件具有端挡块23来限制转动范围。
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