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辉光放电系统和离子引出结构,辉光放电质谱仪
JP2018071271 2018-4-3 发明授权
2018-7-18
[问题]一种不大幅改变传统的辉光放电系统设备或驱动条件,被提取的离子束的量增加,辉光放电质谱分析的较高精度的装置。[技术方案]设置单元20抽取口,作为引出电极25‘],一种开放式放电区(27)具有突出的突起25朝着26,26和27第一的侧板1上设有一放电区,所述板26和第二的外周边缘1连接的,第一板28通过间隙(25)设置在所述开口部(2)构成。图[图1]
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