| 基质辅助激光解析离子源靶板运动平台 |
| CN201920361289.8 2019-3-21 实用新型 |
| 2019-9-10 |
| 本实用新型公开了一种基质辅助激光解析离子源靶板运动平台，包括驱动靶板运动的X、Y向驱动机构，X、Y向驱动机构结构相同，均包括电机以及设置在电机工作端的轴承座，电机的工作轴上固套有码盘，轴承座上设置有与码盘相匹配的读数头；工作轴通过联轴器连接有同步转动的丝杠，丝杠自设置在轴承座内的一对轴承组内圈中穿出，丝杠外端套装有带轴承套的支撑轴承；轴承组的两轴承之间贴合设置有隔圈，轴承组与联轴器之间的丝杠上设置有锁母，轴承组与支撑轴承之间的丝杠上设置有丝杠母座。本实用新型优点在于结构简单，安装及调试方便，传动精度高，对腔体内的真空环境无污染，降低噪音，改善工作环境，精确记录电机转数，实现靶板精准移动。 |
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