包括其的二次离子质谱电离源
 
KR1020170089887  2017-7-14  发明授权

2018-3-2
 
  本发明涉及一种电离源和二次离子质量分析仪,包括如下公开内容。其源极,燃气球数的图像电极,喷嘴,其设置在所述电极之间,所述电极和所述灯丝发射电子的工艺气体的喷嘴,所述喷嘴电极的外侧设置的接地电极,所述接地电极和所述喷嘴之间设置电极,所述离子化气体包括用于提取所述接地电极的方向引出电极。从外侧向内侧延伸的喷嘴电极的引出电极可以具有尾中提取的。
 
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