| 电感耦合等离子体质谱仪 |
| WOJP16068762 2016-6-24 发明申请 |
| 2017-6-29 |
| 本发明提供一种ICP质谱仪，能够有效排出残留水通过限制Ar的用量气和Ar气的供给压力的波动源在Ar气吹扫时间用于冷却剂系统。所述的电感耦合等离子体质谱仪具有 : 装置主体部(1)；一种冷却液系统2从水源20提供冷却剂到待冷却结构部分 : 一种高频电源(12)，一种高频线圈(18)，和样品导入部(13)，需要进行冷却；和Ar的气体供给系统(3)。中间阀V2，V3设置在下游侧的主阀V0，吹扫气体通道32具有吹扫阀V1，和合流位置G的冲洗气体通道(32)。所述待冷结构部件连接到下游侧上的冷却用管的中间体阀V2，V3。阀控制部(35)配置为执行间断的重复控制中的AR积放气体在中间阀V2的上游侧，V3，间歇地打开和关闭中间阀V2，V3时，Ar气流量被发送。 |
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