| 抛光垫 |
| JP2016074659 2016-4-1 发明申请 |
| 2017-10-12 |
| [问题]要抛光的抛光垫，其能够抑制划痕的产生。[解决方案]与中空颗粒的抛光垫具有抛光层，中空颗粒是通过气相色谱-质谱仪以下条件时，在全部保持时间为20分钟或更长的峰面积比进行检测，所有的峰总面积的10%或更小。热解条件，热分解温度 : 在550℃30分钟，接口 : 320℃，GC运作条件，柱 : ultraalloy ua1-30m-0.25±-1F，入口温度 : 350℃，载气 : 氦气，载气流量 : 1ml/min，分流比 : 1 : 100，温升条件 : 后置于50℃1℃，升温至300℃~10℃/min，在5℃300℃，进样量 : 10μL，MS条件，质谱仪，温度 : 320°C接口，离子源250°C，探测器电压 : -1000V。[图]NO |
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