| 传送杆及扫描电镜 |
| CN201910594287.8 2019-7-3 发明申请 |
| 2019-10-1 |
| 本发明涉及一种传送杆及扫描电镜,该传送杆包括:载体;夹取装置,设置在所述载体上;第一驱动装置,设置在所述载体上,用于驱动所述夹取装置动作,以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台;第二驱动装置,与所述载体相接,用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动,以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动,使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓,其中所述第一方向和所述第二方向相反。本发明提供的传送杆在进行送样和取样时,可以通过控制第一驱动装置来使夹取装置夹紧或松开样品台,通过控制第二驱动装置来驱动载体伸入或退出扫描电镜的真空仓,整个过程无需经过繁琐的操作、简单方便。 |