传送杆及扫描电镜
 
CN201910594287.8  2019-7-3  发明申请

2019-10-1
 
  本发明涉及一种传送杆及扫描电镜,该传送杆包括:载体;夹取装置,设置在所述载体上;第一驱动装置,设置在所述载体上,用于驱动所述夹取装置动作,以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台;第二驱动装置,与所述载体相接,用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动,以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动,使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓,其中所述第一方向和所述第二方向相反。本发明提供的传送杆在进行送样和取样时,可以通过控制第一驱动装置来使夹取装置夹紧或松开样品台,通过控制第二驱动装置来驱动载体伸入或退出扫描电镜的真空仓,整个过程无需经过繁琐的操作、简单方便。
 
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