| 一种低真空条件下的质谱离子源装置 |
| CN201810139214.5 2018-2-11 发明申请 |
| 2018-8-14 |
| 本发明属于质谱分析测试技术领域，具体涉为一种低真空条件下的质谱离子源装置。该装置包括：一真空系统，以及设置于该真空系统中的离子源、样品平台、离子传输系统、离子质量分析器、离子探测器；该真空系统可以实现多级真空差分功能；由离子源产生的离子撞击到待测样品表面，待测样品在离子碰撞后发生溅射和脱附产生气相样品离子，从而实现待测样品离子化过程；产生的待测样品离子通过离子传输系统进入到离子质量分析器中；真空系统的使用可以提高离子产生效率，降低离子传输过程中的损失，从而提高离子传输效率和整个系统的检测灵敏度。 |
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