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在线监测特殊气体的颗粒污染之设备

TW106135875 2017-10-19 发明授权

2020-7-1

在线监测特殊气体的颗粒污染设备包括单一颗粒感应耦合电浆质谱仪以及气体交换装置。气体交换装置耦接于单一颗粒感应耦合电浆质谱仪。所述气体交换装置包括防腐蚀外管和位于其中的内管而于防腐蚀外管与内管之间形成间隙。所述内管的长度在1公尺以上。于所述间隙内可供氩气()流动且于所述内管内可供特殊气体流动。