| 感应耦合电浆质谱仪之反应气体供应设备与调配方法 |
| TW108108479 2019-3-13 发明申请 |
| 2020-6-16 |
| 一种感应耦合电浆质谱仪之反应气体供应设备，其包含有一氨气供应端及一氦气供应端与一反应气体供应设备所构成，该反应气体供应设备与氨气供应端及该氦气供应端，并且该反应气体供应设备设有调整氨气及氦气流量的氨气质量流量计、氦气质量流量计；藉由感应耦合电浆质谱仪指定的反应气体比例调整前述的氨气质量流量计、氦气质量流量计，让氨气与氦气混合後形成反应气体，再将反应气体提供给感应耦合电浆质谱仪；透过本发明的技术手段可以达到保护检测仪器、降低反应气体成本等多项优点 |
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