| 一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法 |
| CN201811623972.0 2018-12-28 发明申请 |
| 2019-4-16 |
| 本发明公开了一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，包括：在普通透射电镜模式下，倾转样品，使电子束沿第一晶带轴入射，拍摄衍射谱并标定；根据标定倾转样品，使样品处于第一衍射矢量的双束衍射状态；将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集第一衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；倾转样品，拍摄样品沿第二晶带轴的衍射谱，并标定；根据标定倾转样品，使样品的待观察位错区域先后处于两个不同的衍射矢量的双束衍射状态，并将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器分别收集这两个不同的衍射矢量衍射束的衍射衬度图像。本发明解决了传统的“双束”衍射无法区分多种伯格斯矢量的位错类型的问题，有利于更深入地揭示样品的位错演变规律。 |
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