| 真空泵 |
| WOGB04004046 2004-9-23 发明申请 |
| 2005-5-6 |
| 一个差动泵送的质量光谱仪系统包括一个质量光谱仪具有一个多个的压力室，一真空泵安装在其上和包括在至少三个泵的入口，一第一泵送部分，一第二泵送部分的下游从第一泵送部分，和一第三泵送部分的下游从第二泵送部分，一个出口从一个第一，相对低; 压力室被连接到一第一泵进口通过它流体可进入所述泵从第一室和通过通过第一，第二和第三泵送部分朝向一个泵出口，一个出口用于一种第二，介质该光谱仪的压力室被连接到一第二泵进口通过它流体可进入所述泵和旁路通过，所述段的，仅第二和第三泵送部分向所述泵出口，和一个出口用于一第三，该光谱仪的最高压力室被连接到一第三泵进口通过它流体可进入所述泵和旁路通过，所述段的，仅在至少部分的第三泵送部分向所述泵出口，和一个衬底泵连接到所述泵出口这样的，即，使用中，在至少99%的所述流体抽吸质量从所述的光谱仪通过通过两个所述真空泵和所述衬底泵。 |
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