| 一体化微型立式质谱仪 |
| PL42944119 2019-3-29 发明申请 |
| 2020-1-27 |
| 申请对象是一种采用MEMS技术制作的集成微型质谱仪，设计用于在10-3-10-7 hPa量级的高真空下操作，对各种物质的化学成分进行高精度分析。 光谱仪的特点是， 其中，通过在微泵和电离器共用的下间隔器(13)中制作的微通道(15)，将电离器附加到微泵上， 在该分析器和检测器上，电离器由三个连续的硅电极组成 : 阴极(21)，阳极(22)和反阴极(23)，依次由下间隔器(13)和上间隔器(26)隔开，以及位于阴极(21)下的磁体(24)，在阳极(22)和反阴极(23)上有同心圆孔，其中阳极(22)的孔大于反阴极(23)的孔，阴极(22)和反阴极(23)之间的距离小于阳极(22)和反阴极(23)之间的距离； 同时，在防阴极(23)上方，以平面硅电极或电极组的形式设置探测器(4)，通过包括离子分离区(31)的分析器测距器(32)与防阴极(23)连接。 |
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