| 高能离子注入机 |
| US14286083 2014-5-23 发明申请 |
| 2014-11-27 |
| 一种高能离子注入机，包括 : 束产生单元，包括离子源和质谱仪； 射频多级线性加速单元； 偏转单元，其包括用于通过动量过滤离子的磁场型能量分析装置； 光束传输线路单元； 以及基板处理/供给单元。 在该装置中，除了作为动量滤波器的磁场型质谱仪和磁场型能量分析装置以及作为速度滤波器的射频多级线性加速度单元之外，还在电场型光束准直器和晶片之间插入通过电场使高能扫描光束在垂直方向偏转的电场型最终能量滤波器。 |
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