| 超小型加速器和微型质谱仪 |
| JP2019182184 2019-10-2 发明申请 |
| 2020-5-14 |
| [问题]提供一种加速器质谱仪尺寸便宜，任何人都可以使用。 第一主[解决方案]1， 第一主机板，贴附于第一上基板的上方； 并且下基板包括第一基板，该第一基板包括连接到质谱仪或加速装置的多个主表面11， 首先在主基板1上形成， 从基板的第一主表面到腔室的第一基板具有贯通腔室的主表面， (z方向)上基板和下基板在垂直于基板表面的方向上， Z方向(X方向)垂直于第一主侧板1的两侧和带电粒子的方向， X和Z方向(Y方向)垂直于第一和主板的两个侧面的方向，并被1包围， 1是主板中心孔无入射带电粒子的二次侧板，在主板中心孔内形成1个带电粒子进入质量分析器室和加速室。 图1[附图] |
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