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使用介质谐振器的微波等离子体光谱仪

SG11201507580U 2014-3-12 发明申请

2015-10-29

介电谐振器被激励时在其自然谐振频率，以产生高度均匀的电场用于产生等离子体。等离子体可以用于光学或质谱仪。