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一种用于质谱仪的等离子清洗

WOUS15042950 2015-7-30 发明申请

2016-2-4

一种质谱(MS)系统可以通过产生等离子体清洗和接触内表面的系统清洗等离子体。该系统可以分析中的操作之间切换模式和清洗模式。在样品进行分析的分析模式，产生的等离子体可以或可以不发生活跃。在主动产生的等离子体的清洗方式，与样品可以或可以不进行分析。