| 一种四级杆质谱仪真空环境制造结构 |
| CN201921267199.9 2019-8-7 实用新型 |
| 2020-4-21 |
| 本实用新型公开了一种四级杆质谱仪真空环境制造结构,包括质谱仪壳体和质谱仪内腔体,所述质谱仪内腔体内腔壁固定安装有真空检测装置,所述质谱仪内腔体内腔下侧壁固定安装有固定板,所述固定板下端面分别固定安装有第一密封隔音带和数据连接头,所述固定板下端面右侧固定安装有挡板,所述挡板右端壁固定安装有智能控制装置,所述挡板内腔中部开有吸气槽,该四级杆质谱仪真空环境制造结构,可以检测出质谱仪内腔体内腔的空气含量,使得腔体保留有少量的气体可以用来吸收过量的动能;提高涡轮分子泵的拆卸便捷性,方便对涡轮分子泵进行清洁,提高涡轮分子泵的隔音效果,降低涡轮分子泵的噪音。 |