| 用于飞行时间质谱仪的金属镀层氧化铝陶瓷电极片 |
| CN201811222588.X 2018-10-19 发明申请 |
| 2019-1-22 |
| 本发明涉及一种用于飞行时间质谱仪的电极片，属于离子光学器件制作技术领域。解决了现有技术中的电极片厚度较大、机械尺寸加工不准确一致、电极片不平整以及任意两个电极片之间的间距不够小等技术问题；本发明提供了一种用于飞行时间质谱仪的电极片，包括氧化铝陶瓷和金属镀层；氧化铝陶瓷为95氧化铝陶瓷或99氧化铝陶瓷；金属镀层涂覆于氧化铝陶瓷表面和侧沿；95氧化铝陶瓷和99氧化铝陶瓷是指氧化铝的质量百分含量为95％和99％。本发明提供的电极片具有较薄的厚度、较高的平整度以及较好的机械尺寸准确性，并且成本较低，能够用于飞行时间质谱仪的制作，有利于形成均匀的梯度电场。 |
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