| 判断扫描电子显微镜机台是否倾斜的方法 |
| CN202010802383.X 2020-8-11 发明申请 |
| 2020-11-13 |
| 本发明提供了一种判断扫描电子显微镜机台是否倾斜的方法，包括将测试晶圆放置于承载台上，所述测试晶圆上设置有至少一个标记；控制所述承载台绕其中心在一设定角度范围内倾斜，同时，所述检测器在所述承载台处于不同倾斜角度时获取所述标记的线宽；建立所述标记的线宽与所述承载台的倾斜角度的实际关系曲线；将所述实际关系曲线与理论标准关系曲线进行对比，以判断出所述扫描电子显微镜机台是否倾斜。本发明能够客观的，可量化的扫描电子显微镜机台是否倾斜。避免了因为不同的技术人员主观判断的差异所导致的判定结果存在差异，继而导致测量误差的出现，影响了扫描电子显微镜测量的精度。 |
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