| 四极型质量分析装置和残余气体分析方法 |
| JP2015242480 2015-12-11 发明申请 |
| 2017-6-15 |
| 本发明的课题是不带电的中性粒子的颗粒通过，同时减少噪音等，离子更有效地仅检测被引导到探测器。离子源电离样品并[a]21，21在入口到出口的内部通过从离子源产生的离子成四极部(23)和出口，所述的四极杆离子检测器(241)和出口(23)抽出的部分，施加预定电压的电压源和检测器(241)的四极型质谱仪定量所述四极23穿过中心轴段上的进口和出口通过所形成的空间24v碳颗粒，所述颗粒通过设置在探测器周围的空间241伏，所述的离子朝着检测器(241)，电或磁场的旋转轴线形成不对称C四极型质谱仪的QMS。图[图2] |
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