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4
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改进的SIMS二次离子质谱技术
EP17199158 2017-10-30 发明申请
2019-5-1
一种进行二次离子质谱分析的方法,包括 : -在样品架上提供样品; -使用离子束照射所述样品表面的区域,由此产生烧蚀的样品材料; -在质量分析器中收集所述烧蚀材料的离子化组分,并根据种类对其进行分类,还包括 : -在所述辐照期间在所述样品表面的所述区域附近提供催化气体,所述气体包括选自全氟烷烃及其异构体的组分。
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