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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

高能量离子植入装置

TW103113411 2014-4-11 发明申请

2014-12-1

一种高能离子注入机，包括：束产生单元，其包括离子源和质量分析器；高能多级线性加速单元，改变高能离子束朝向晶片的方向的高能束偏转单元，以及将偏转的高能离子束输送到晶片的束输送单元。光束传输单元包括光束整形器，高能光束扫描器，高能光束准直器和高能最终能量滤波器。此外，高能束准直器是电场型束准直器，其在通过电场执行高能束的加速和减速的同时准直扫描束。