产业专利数据
 
高能量离子植入装置
 
TW103114669  2014-4-23  发明申请
2014-12-16
 
  提供高能量离子植人装置中的高效率射束输送技术高能量离子植入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元，对离子束进行加速而生成高能量离子束；高能量射束的偏向单元，将高能量离子束朝向晶圆进行方向转换；及射束输送路线单元，将偏向过的高能量离子束输送到晶圆偏向单元是以复数个偏向电磁铁所构成，并在复数个偏向电磁铁之间插入有至少1个横向收敛要件
 
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