| 激光解吸电离质谱样品板移动机构 |
| JP2019076772 2019-4-15 发明申请 |
| 2019-7-11 |
| [问题]很低的真空室壁可以通过摩擦力在样品板移动机构上移动。 真空室10设置在样品板40[a]内， 在真空室10的外部， XY载物台在试样板的方向上可移动地设置有移动机构， 对于样品板40， 第一永久磁铁42， 和44， 设置第二永磁体， 平台31， 第一永久磁铁42， 第三永久磁铁10和真空室44通过Z方向吸引壁31c， 当分析时，电磁铁50通过壁10-Z方向被电磁铁，永久磁铁和电磁铁50以及第二真空室43控制，使得斥力是预定的回弹力。 图2[附图] |
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