电子发射元件和电子显微镜
 
JP2019088138  2019-5-8  发明申请

2020-11-12
 
  [A]使用扫描电子显微镜,电子的能量宽度窄,提高电子发射元件的电子发射效率。 [解决方案]第一电极1, 电子加速层由绝缘膜构成,第一电极2与电子发射元件依次层叠结构,第一电极2电子传输,从电极表面发射电子,电子发射能量范围为100meV或以上600meV。 例如,使用第一电极2,1或多于20层的石墨烯,绝缘膜可以用作六方氮化硼。 图1[附图]
 
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