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真空泵和质谱仪
US15234358 2016-8-11 发明申请
2017-3-16
在所述圆柱形定子处形成与所述多个螺杆槽中的一个或多个连通的一个或多个通孔, 形成在圆柱形定子处的一个或多个通孔的周向尺寸的总和被设置为等于或大于圆柱形定子的面向第二吸入口的外周表面区域的周向尺寸,并且提供气体路径,通过该气体路径,流过第二吸入口的流入气体被引导到螺纹槽,穿过螺纹槽的一个或多个通孔和螺纹槽远离面向第二吸入口的区域。
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