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等离子体离子源质谱的方法和装置
JP2015161928 2015-8-19 发明申请
2017-1-19
[问题]本发明安全,方便处理用的反应气体,加宽选项的反应气体,可有效消除各种干扰影响,等离子体离子源质谱的方法和装置。[解决方案]获得作为反应气体,液体材料从各种气体。在将离子化的等离子体引入该真空抽吸样品,样品产生的离子的离子束,该离子束的离子分离和检测,等离子体离子源的质谱分析方法及装置,之前的离子分离和检测,所述汽化液体物质得到消除干扰的影响与反应气体接触的离子束。图[图2]
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