| 暗场显微镜 |
| WOEP20059473 2020-4-2 发明申请 |
| 2020-11-12 |
| 公开了一种暗场计量装置，包括物镜装置和用于阻挡所述零阶辐射的零阶块。 物镜(OL)装置将照明引导到待测量的样品(W)上，并收集来自样品的散射辐射，散射辐射包括零阶辐射和更高阶衍射辐射。 暗场计量装置可操作以执行照明扫描，从而在照明角度的最大范围的至少两个不同子集上扫描照明； 以及同时执行检测扫描，该检测扫描在所述照明扫描的至少一部分期间在检测角度的最大范围的相应子集上相对于彼此扫描零阶块和散射辐射两者中的一个。 |
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