| 检测冻干过程中硅油泄漏的质谱装置及方法 |
| CN201910760190.X 2019-8-16 发明申请 |
| 2020-1-3 |
| 本发明提供了一种检测冻干过程中硅油泄漏的质谱装置及方法，包括：内胆电极；进样管，一端朝向所述内胆电极，将待测气体引入所述内胆电极；第一电离源，朝向所述内胆电极，电离待测气体中的硅油中性分子，得到对应的正离子；质量分析器，与所述内胆电极之间设置有传输聚焦电极；其中，正离子受所述内胆电极所产生的电场力牵引，并通过所述传输聚焦电极将正离子引入所述质量分析器。本发明可实时在线检测冻干过程中硅油泄漏的质谱，填补了国内此类产品的技术空白。 |
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