| 稳健的离子源 |
| SG11201911186V 2018-6-7 发明申请 |
| 2019-12-30 |
| 设备(例如，离子源)、系统(例如，残余气体分析仪)和方法在存在污染气体的情况下提供质谱仪的延长的寿命和改进的分析稳定性，同时实现采样气体相对于内部背景气体的实质上优先电离。 一个实施例是包括气体源、喷嘴、电子源和电极的离子源。 气体源经由喷嘴将气体输送到抽空的电离容积，并且处于比抽空的电离容积的压力更高的压力下。 通过喷嘴的气体在电离体积的电离区域中自由膨胀。 电子源通过电离区域中的膨胀气体发射电子，以电离膨胀气体的至少一部分。 电极产生用于从电离区域到质量过滤器的离子流的电场，并且电极位于距喷嘴一定距离处，并且定向成限制它们暴露于气体。 |
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