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真空泵和质谱仪

US15145895 2016-5-4 发明申请

2016-12-15

一种真空泵，包括 : 第一泵级；设置在所述第一泵级下游的第二泵级；第一吸入口，设置在所述第一泵级的吸入侧；以及设置在第一泵级下游并与第二泵级连通的第二吸入口。第一泵级包括适于小排气体积的Siegbahn泵部分和涡轮分子泵部分。第二泵级包括适于大排气量的Holweck泵部分。