| 原子力显微镜探针及其制作方法 |
| CN202010612508.2 2020-6-30 发明申请 |
| 2020-11-6 |
| 本申请涉及一种原子力显微镜探针及其制作方法。包括获取原子力显微镜探针的Q值随针尖长度的变化曲线。变化曲线中包含了QTF不同的振动模式。根据变化曲线，确定针尖长度的取值范围，实现了根据附加质量和振动模式对AFM中QTF探针在不同针尖长度下的Q值变化规律对探针结构的优化。根据针尖长度的取值范围，确定音叉的尺寸参数和平衡调节装置的尺寸参数。将针尖固定于音叉的第一叉臂的自由端，并将平衡调节装置固定于音叉的第二叉臂的自由端。本申请巧妙地利用了QTF的机械共振的特征和变化规律并采用适当的方法实现了Q值的调控，可在探针针尖的长度较长时仍能够获得其Q值的极大值，从而得到振动特性优良的AFM探针。 |
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