| 一种精准的残余气体质谱分析系统 |
| CN201920323222.5 2019-3-14 实用新型 |
| 2019-11-5 |
| 本实用新型涉及一种精准的残余气体质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台，所述前级泵位于操作平台一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方，质谱仪前端和分子泵之间还设有气体管道，质谱仪前端淤积的气体通过气体管道进入到分子泵，质谱仪前级出口与分子泵之间设有前级管道，分子泵内的气体通过前级管道进入到前级泵。本实用新型实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便，并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短，质谱仪前端不易淤积气体，分子泵内的气体易于排出。 |
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