| 一种微尺度飞行时间质谱仪 |
| CN201910653904.7 2019-7-19 发明申请 |
| 2019-10-18 |
| 本发明公开了一种微尺度飞行时间质谱仪，包括依次连接的气体进样装置、质谱仪芯片和真空装置，所述气体进样装置包括毛细导管、微阀和流量计，所述质谱仪芯片内部包括离子源、离子传输电极组、加速区、无场漂移区、反射器和检测器，所述真空装置包括小型隔膜泵、小型涡轮分子泵、连接管路、阀门和真空机，本发明同时通过进样系统的控制，可实现将待测气体以直接进样方式进入离子源的目的；通过离子在无场漂移区的飞行、离子反射器的作用，实现不同离子到达检测器时间不同的区分；通过控制器和外接电源对各电极电压的控制，可实现不同质量范围的气体质谱分析，其应用价值和气体分析能力得到了大大的提高。 |
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